掩模光刻機(jī)屬于一種掩模曝光系統(tǒng)，需要激光源刻蝕晶片表面的保護(hù)膜，最終形成電路實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的功能。準(zhǔn)分子激光器廣泛應(yīng)用于光刻機(jī)中，可以產(chǎn)生深紫外激光束。主要供應(yīng)商是全球領(lǐng)先的準(zhǔn)分子激光供應(yīng)商Cymer，該公司已被ASML收購(gòu)。最新一代的光刻機(jī)是EUV光刻機(jī)，可以實(shí)現(xiàn)10 nm以下的工藝，目前仍被國(guó)外壟斷。

可以預(yù)計(jì)，中國(guó)在各種芯片上的技術(shù)會(huì)逐漸取得突破，實(shí)現(xiàn)自產(chǎn)和量產(chǎn)，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)也可以期待。屆時(shí)，精密激光光源的應(yīng)用需求必然會(huì)增加。

半導(dǎo)體材料的另一大應(yīng)用是光伏電池產(chǎn)業(yè)，這是目前全球增長(zhǎng)最快、發(fā)展最好的清潔能源市場(chǎng)。太陽(yáng)能電池分為晶體硅太陽(yáng)能電池、薄膜電池和III-V族化合物電池，其中硅片材料應(yīng)用最為廣泛。與激光相反，光伏電池是一種將光轉(zhuǎn)化為電的設(shè)備，光電轉(zhuǎn)換率是判斷電池好壞的最重要標(biāo)準(zhǔn)，其中材料和制造工藝最為關(guān)鍵。

在切割硅片方面，過去使用的傳統(tǒng)切割工具切割精度不夠，效率低，會(huì)產(chǎn)生更多的次品。因此，精密激光制造技術(shù)早已被歐洲、韓國(guó)和美國(guó)采用。中國(guó)光伏電池產(chǎn)能占全球一半以上。隨著國(guó)家對(duì)新能源發(fā)展的支持，近四年來(lái)光伏產(chǎn)業(yè)重回上升軌道，大量新技術(shù)新工藝被采用，其中激光加工是重要工藝之一。目前，激光已經(jīng)在光伏電池中實(shí)現(xiàn)了晶圓切割、劃片和燒蝕，在PERC電池中實(shí)現(xiàn)了激光開槽。PERC電池是一種發(fā)射極鈍化、局部背接觸的新型太陽(yáng)能電池。其優(yōu)點(diǎn)在于光電轉(zhuǎn)換效率高達(dá)20%以上。